มาตรฐานความต้องการของอุตสาหกรรมคลีนรูม

A cleanroom's performance requirements identify the cleanroom class level required at a given state or condition. ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของคลีนรูมระบุระดับคลาสคลีนรูมที่ต้องการในสถานะหรือเงื่อนไขที่กำหนด There are three level of condition (states) for testing and characterizing the performance of cleanrooms: as-built; มีเงื่อนไขสามระดับ (สถานะ) สำหรับการทดสอบและกำหนดลักษณะการทำงานของคลีนรูม: ตามที่สร้างขึ้น; at rest; ในส่วนที่เหลือ; and operational. และการดำเนินงาน Specific test methods for these three classifications are outlined in 14644-3:2005. วิธีทดสอบเฉพาะสำหรับการจำแนกประเภททั้งสามนี้ได้อธิบายไว้ใน 14644-3: 2005

Most cleanrooms are rated and sold in the as-built category—an empty room with the filter system running, but without workers and production equipment. คลีนรูมส่วนใหญ่ได้รับการจัดอันดับและจำหน่ายในหมวดที่สร้างขึ้น - ห้องว่างที่ระบบกรองทำงาน แต่ไม่มีพนักงานและอุปกรณ์การผลิต However, adding workers and equipment will introduce contamination and affect the room rating. อย่างไรก็ตามการเพิ่มพนักงานและอุปกรณ์จะแนะนำการปนเปื้อนและส่งผลกระทบต่อการจัดอันดับห้องพัก A clean room may be rated ISO 6 at rest, but at ISO 7 during operation. ห้องสะอาดอาจได้รับการจัดอันดับ ISO 6 ที่พักผ่อน แต่ที่ ISO 7 ระหว่างการใช้งาน To comply with performance requirements, the as-built empty room should be tested and benchmarked, followed by testing and documentation of the at-rest and operational states. เพื่อให้สอดคล้องกับข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพห้องว่างที่สร้างขึ้นควรได้รับการทดสอบและสร้างมาตรฐานแล้วตามด้วยการทดสอบและเอกสารประกอบของส่วนที่เหลือและสถานะการทำงาน If contamination in the at-rest or operational states is not in compliance, corrective steps need to be taken. หากการปนเปื้อนในที่พักหรือการปฏิบัติงานไม่เป็นไปตามขั้นตอนการแก้ไขจะต้องดำเนินการ These steps can range from examining the production process and number of workers in the cleanroom, to testing the room's air flow performance. ขั้นตอนเหล่านี้มีตั้งแต่การตรวจสอบกระบวนการผลิตและจำนวนคนงานในคลีนรูมจนถึงการทดสอบประสิทธิภาพการไหลของอากาศในห้อง

In addition, cleanroom air flow performance can be cost-effectively upgraded by adding fan filter modules (FFM). นอกจากนี้ประสิทธิภาพการไหลของอากาศในห้องคลีนรูมสามารถอัพเกรดได้อย่างคุ้มค่าด้วยการเพิ่มโมดูลตัวกรองพัดลม (FFM) For example, FFMs cover approximately 5-15% of an ISO 8 Class cleanroom ceiling. ตัวอย่างเช่น FFMs ครอบคลุมประมาณ 5-15% ของเพดานห้องสะอาด ISO 8 Class Upgrading to an ISO 7 cleanroom requires 15-25% ceiling coverage and covering 25-40% of the ceiling changes the room to an ISO 6 Class. การอัพเกรดเป็นห้องสะอาด ISO 7 นั้นต้องครอบคลุมเพดาน 15-25% และครอบคลุม 25-40% ของเพดานเปลี่ยนห้องเป็นระดับ ISO 6