อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์พึ่งพาการใช้ห้องสะอาดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครโปรเซสเซอร์ และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆความไวสูงของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ต่ออนุภาคและสารปนเปื้อนที่เล็กที่สุดนั้นต้องการสภาพแวดล้อมที่ปราศจากฝุ่นละออง ความชื้น และองค์ประกอบสิ่งแวดล้อมอื่นๆ

คลีนรูมในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์จัดประเภทตามจำนวนอนุภาคต่ออากาศหนึ่งลูกบาศก์เมตรการจัดประเภทที่เข้มงวดที่สุดคือคลีนรูมคลาส 1 ซึ่งอนุญาตให้มีอนุภาคขนาด 0.1 ไมครอนหรือใหญ่กว่าได้สูงสุด 10 อนุภาคต่ออากาศหนึ่งลูกบาศก์เมตรคุณสมบัติที่สำคัญอื่น ๆ ของคลีนรูมในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่ การควบคุมอุณหภูมิและความชื้น ตลอดจนการใช้อุปกรณ์และเครื่องมือพิเศษ

ในการใช้คลีนรูมอย่างมีประสิทธิภาพในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ สิ่งสำคัญคือต้องปฏิบัติตามระเบียบปฏิบัติที่เข้มงวดสำหรับการทำงานในสิ่งแวดล้อมพนักงานต้องสวมเสื้อผ้าเฉพาะและปฏิบัติตามขั้นตอนที่เข้มงวดเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมของคลีนรูมนอกจากนี้ การบำรุงรักษาสภาพแวดล้อมของคลีนรูมอย่างสม่ำเสมอมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการป้องกันการสะสมของอนุภาคและสารปนเปื้อนเมื่อเวลาผ่านไป