ข่าว บริษัท เกี่ยวกับ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์และความต้องการสภาพแวดล้อมโมดูลาร์ ISO 4

ในขณะที่การผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ก้าวหน้าไปสู่หน่วยกระบวนการ 3nm และ 2nm อุตสาหกรรมเผชิญกับปัญหาที่ไม่เคยมีมาก่อนในการควบคุมการปนเปื้อนสิ่งแวดล้อมISO 4 สภาพแวดล้อมห้องสะอาดปริมาณของอนุภาค 0.1μm ต่อเมตรบาตรความต้องการนี้กําลังขับเคลื่อนนวัตกรรมในการแก้ไขห้องสะอาดแบบโมดูล ที่รวมความสะอาดสูงสุดกับความเคลื่อนไหวที่จําเป็นสําหรับการเปลี่ยนแปลงเทคโนโลยีอย่างรวดเร็ว.

ห้องสะอาดแบบคงที่แบบดั้งเดิม พยายามที่จะติดตามการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ การก่อสร้างอุปกรณ์ใหม่ ISO 4 อาจใช้เวลา 18-24 เดือน และมีค่าใช้จ่ายสูงกว่า 1 พันล้านดอลลาร์ทําให้มันยากที่จะปรับตัวต่อความต้องการกระบวนการที่เปลี่ยนแปลง หรือการผลิตขนาดใหญ่อย่างรวดเร็วห้องสะอาดแบบโมดูลนําเสนอทางเลือกที่เปลี่ยนแปลง โดยมีโป๊ดที่ทําขึ้นล่วงหน้า สามารถใช้งานได้ในช่วง 3-6 เดือน โดยยังคงมีการควบคุมสิ่งแวดล้อมที่เข้มงวดเท่าเดิม

โซลูชั่นแบบโมดูลเหล่านี้รวมเทคโนโลยีการควบคุมมลพิษที่ทันสมัยที่ปรับปรุงให้กับการผลิตไมโครเอเล็คทรอนิกส์

• ระบบกรองชั้น: เครื่องกรอง HEPA/ULPA ร่วมกับระบบกําจัดสารปนเปื้อนโมเลกุล (AMC) เพื่อกําจัดสารเคมีในอากาศที่ทําลายแผ่นครึ่งนํา
• การควบคุมสิ่งแวดล้อมอย่างแม่นยํา: ความมั่นคงของอุณหภูมิ ± 0.1 °C และการควบคุมความชื้น ± 1% เพื่อป้องกันการบิดของแผ่นและรับประกันผลการฉลากผงที่ตรงกัน
• ความสามารถในการปรับขนาดแบบโมดูล: โป๊ดสามารถปรับแต่งใหม่หรือขยายได้ง่าย เพื่อรองรับเครื่องมือกระบวนการใหม่หรือเพิ่มศักยภาพการผลิต
• การติดตามในเวลาจริง: เซนเซอร์ที่ใช้ IoT ให้ข้อมูลต่อเนื่องเกี่ยวกับจํานวนอนุภาค อุณหภูมิ ความชื้น และปริมาณก๊าซ โดยการวิเคราะห์ที่ใช้ AI ทํานายเหตุการณ์การปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้น