ข่าว บริษัท เกี่ยวกับ อะไรคือคุณลักษณะของห้องคลีนรูมแบบโมดูลาร์ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์?

คลีนรูมแบบโมดูลาร์ได้รับการออกแบบด้วยตรรกะแบบ "บล็อกก่อสร้าง" ทำให้โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถปรับแต่งเลย์เอาต์พื้นที่ให้ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะได้

ตัวอย่างเช่น พื้นที่สำหรับการถ่ายภาพด้วยแสง การกัด และการบรรจุหีบห่อ สามารถกำหนดค่าระดับความสะอาดที่แตกต่างกัน (ตั้งแต่ ISO 1 ถึง ISO 9) ได้อย่างอิสระ

ความยืดหยุ่นนี้ช่วยขจัดความจำเป็นในการปรับปรุงโครงสร้างขนาดใหญ่เมื่อมีการอัปเกรดสายการผลิต ซึ่งช่วยลดเวลาหยุดทำงานได้อย่างมาก

แผงโมดูลาร์ ซึ่งมักทำจากโลหะผสมอลูมิเนียมหรือเหล็กอาบสังกะสี สามารถประกอบและถอดประกอบได้อย่างรวดเร็ว รองรับการขยายหรือปรับเปลี่ยนพื้นที่คลีนรูมได้อย่างรวดเร็วตามการเปลี่ยนแปลงของขนาดการผลิต

แต่ละยูนิตคลีนรูมแบบโมดูลาร์ได้รับการออกแบบด้วยระบบซีลแบบบูรณาการ รวมถึงข้อต่อที่มีปะเก็นและการควบคุมความแตกต่างของแรงดัน เพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้ามระหว่างโซน

ระบบ HVAC ก็เป็นแบบโมดูลาร์เช่นกัน โดยมีหน่วยจัดการอากาศ (AHUs) เฉพาะสำหรับแต่ละส่วน เพื่อให้มั่นใจในการควบคุมอุณหภูมิ (±0.5°C) ความชื้น (±2%) และจำนวนอนุภาคได้อย่างแม่นยำ

ตัวกรองอากาศอนุภาคประสิทธิภาพสูง (HEPA) หรือตัวกรองอากาศที่มีการแทรกซึมต่ำมาก (ULPA) ถูกฝังอยู่ในแผงเพดานและผนัง ให้การไหลของอากาศแบบแลมินาร์ทิศทางเดียวที่ช่วยลดการสะสมของอนุภาคบนเวเฟอร์

นอกจากนี้ คลีนรูมแบบโมดูลาร์ยังมีระบบระบายน้ำทิ้งและระบบจัดการของเสียแบบบูรณาการ ซึ่งกักเก็บวัสดุอันตรายไว้ในโซนเฉพาะเพื่อหลีกเลี่ยงการแพร่กระจายของสารปนเปื้อน