รายละเอียดสินค้า:
|
ประเภท: | ประเภทการประกอบโมดูล | ประสิทธิภาพของกรองอากาศ: | H13 ตัวกรอง HEPA ขนาดเล็กที่เต็มไป |
---|---|---|---|
ระบบแสง: | แสงไฟ LED การทำให้บริสุทธิ์ | วัสดุ :: | sus304 t = 1.0 มม. |
ความจุ: | 1-2 คน | ระบบประตู: | ประตูสวิงด้วยมือ |
การไหลของอากาศ: | 1,000-1500m/3 | ปฏิบัติตาม: | ห้องทำความสะอาดคลาส 100 คลาส |
เน้น: | ห้องอาบอากาศสแตนเลสสตีลคลีนรูม Class 100,ห้องอาบอากาศควบคุมด้วยไมโครคอมพิวเตอร์,ห้องอาบอากาศสแตนเลสสตีลที่มีการไหลเวียนของอากาศสูง |
คุณสมบัติ | ค่า |
---|---|
ประเภท | ประเภทการประกอบโมดูล |
ประสิทธิภาพของแผ่นกรองอากาศ | แผ่นกรอง HEPA แบบ Mini-pleat H13 |
ระบบไฟส่องสว่าง | ไฟส่องสว่างเพื่อการฟอกอากาศแบบ LED |
วัสดุ | SUS304 T=1.0mm |
ความจุ | 1-2 คน |
ระบบประตู | ประตูแบบสวิงด้วยมือ |
การไหลของอากาศ | 1000-1500m/3 |
สอดคล้องกับ | ห้องคลีนรูม Class 100 |
ห้องอาบน้ำอากาศสแตนเลสสตีลที่ปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะ
ปรับขนาด, จำนวนหัวฉีด, และระบบควบคุมให้เหมาะสมกับรูปแบบห้องคลีนรูมเฉพาะ Options ได้แก่ ปะเก็นกันอากาศ, เกจวัดความแตกต่างของแรงดัน, และข้อความแจ้งเตือนด้วยเสียงสองภาษา (อังกฤษ/จีน)
พารามิเตอร์ทางเทคนิค | รายละเอียด |
---|---|
ขนาด | 1400x1000x2350 มม. |
การใช้งาน | ห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ |
ความเร็วลม | 20-25m/s |
การไหลของอากาศ | 1000-1500m³ |
ประสิทธิภาพของแผ่นกรองอากาศ | แผ่นกรอง HEPA แบบ Mini-pleat H13 |
ความจุ | 1-2 คน |
ขนาด | ปรับแต่งได้ |
ประเภท | ประเภทการประกอบโมดูล |
ระบบประตู | ประตูแบบสวิงด้วยมือ |
ชื่ออื่นๆ | Air Locker |
ระบบป้องกัน | ปุ่มหยุดฉุกเฉินด้านนอกและด้านใน |
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ห้องอาบน้ำอากาศมีความสำคัญอย่างยิ่งในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งอนุภาคขนาดเล็กกว่าไมครอนสามารถสร้างความเสียหายให้กับแผ่นเวเฟอร์ได้ พวกมันกำจัดฝุ่น เส้นใย และประจุไฟฟ้าสถิตออกจากบุคลากรและอุปกรณ์ก่อนเข้า เพื่อให้มั่นใจถึงความสะอาด ISO Class 5-6 การไหลของอากาศความเร็วสูง (≥25 m/s) และแผ่นกรอง HEPA กำจัดอนุภาคได้ถึง 99.97% ลดอัตราข้อบกพร่องในการผลิตชิป[3].
ผู้ติดต่อ: Mrs. Zhao
โทร: 86 20 13378693703
แฟกซ์: 86-20-31213735